Der Arbeitskreis Semiconductor Technical der Ethercat Technology Group hat sich zur Aufgabe gesetzt, die Ethercat-Standards für die Halbleiterbranche zu erarbeiten. Hierzu trifft sich die Working Group zweimal jährlich zu mehrtägigen Meetings. An den Sitzungen nehmen regelmäßig 50 bis 80 Anbieter von Geräten als auch Hersteller von Halbleiterfertigungseinrichtungen sowie Chiphersteller teil. Damit deckt der Arbeitskreis die ganze Zulieferkette ab und will so dafür sorgen, dass die erarbeiteten Spezifikationen die Anforderungen sowohl der Anbieter als auch deren Kunden erfüllen. Im Rahmen des kürzlich abgehaltenen Treffens wurden weitere vier Profilspezifikationen verabschiedet und damit die Arbeit der entsprechenden Task Groups erfolgreich zum Abschluss gebracht: Profile für Liquid Flow Controller, für Temperatur-Sensoren für Wafer-Bearbeitungskammern, für Sensoren für die Spannungs- und Stromfrequenz-Analyse sowie für spezielle Prozesssteuerungsventile. Für vier weitere Geräteprofile ist die Arbeit im vollen Gange. Beim Meeting wurde zudem eine weitere Task Group gestartet, die das Geräteprofil für Optical Emission Spectroscopy (OES) erarbeiten will. Damit ist die Serie der speziellen EthercatT-Geräteprofile für die Halbleiterindustrie auf insgesamt 24 Spezifikationen angewachsen.
